お問い合わせ 0197-64-1933 0197-64-1933
会社案内 company
半導体装置のメンテナンス
[半導体Group]

半導体Groupの業務内容

半導体Groupは、「半導体設備保守、保全」、「半導体設備ユニットO/H、改造改善」、「クリーンルーム内付帯工事」、「真空ドライポンプ洗浄」、「中古半導体設備関連売買、移設、立上げ」などの業務を行っております。

お客様と共に改善しメンテナンスを継続実施させて頂いております。

半導体設備保守、保全
半導体設備ユニットO/H、改造改善

半導体製造設備の定期保守、保全(例1.3.6.12.24か月点検)や一部装置では修理等を行います。

また、付属部品の洗浄およびユニットメンテナンスも合わせて仕様すり合わせの後実施させて頂いております。(クリーン環境下でのメンテナンス)

また、メンテナンスの業務効率化や長寿命化などお客様の
ニーズに合った改善提案も行っております。

クリーンルーム内付帯工事

説備を守るため、耐震固定や安全に考慮した、避難経路の確保の為のパーテーション工事等(東日本大震災時にも効果有)も請け負っております。

(写真は、薬液が避難経路上で人が被災することを防止するパネルです。加速度500GAL想定製作)

真空ドライポンプ洗浄

社内に局所排気設備を導入し、一部ドライポンプの分解から組立、試験まで 一貫したサービスを提供しております。

お気軽にお問い合わせください。

中古半導体設備関連売買、移設、立上げ

中古設備の解体、搬出、立上げを請け負いながら装置の購入、販売も所轄警察署の許可を得て実施しております。 資産を廃棄処分する前に、一度お声がけくださればお客様によりよい提案もさせて頂くことも可能ですのでお問い合わせください。

メンテナンス対応機種

製造工程 対応機種
IMPLA SEN製GSDシリーズ
VARIAN製中電流シリーズ
ECH AMAT製Centuraシリーズ
CVD AMAT製P-5000、Centuraシリーズ
METAL AMAT製Enduraシリーズ

様々な装置、作業箇所にご対応させていただきます。
お気軽にご相談ください。

社内保有設備

社内保有装置 台数
高真空用テストベンチ(ロータリー+ターボ)

(到達 -7乗Pa)

1機
Heリークディテクター(UL-200) 2機
乾式ブラスト 2機
簡易排気ドラフト 2機
アルカリ薬液ブラスト 1機
脱気シーラー 1機
超音波洗浄機 2機
高温乾燥炉(100度) 1機
高温乾燥炉(250度) 1機
クリーンベンチ 3機 (1回/2Mに異物数値管理)

作業保障体制

より良いクオリティ保持の為に、自社用マニュアル、作業報告書を整備しお客様との仕様打合せ後、使用しながらメンテナンスさせて頂きます。

年1回作業確認を行い社内認定を実施し、2020年度も不具合0件を継続しております。

部品洗浄環境

弊社部品洗浄は、協力工場クリーンルーム内(class10,000)、又は、社内クリーンブース排気付ドラフト内で実施させて頂きます。

汚水、廃棄物に関しては、マニフェストの提示も可。

  • リサイクル部品は、清浄度管理下クリールーム内で洗浄(最終工程、純水比抵抗値管理)にて実施致します。
  • 規格 比抵抗値1.0MΩ以上
  • 真空ユニットは治具を使用し、Heリークディテクターにて確認致します。
  • 出荷梱包は要相談とさせて頂きます。

お困りごとのご相談・お問い合わせはこちらから CONTACT