半導体装置のメンテナンス
業務内容
NSテクノサービスでは、「半導体設備保守、保全」、「半導体設備ユニットO/H、改造改善」、「クリーンルーム内付帯工事」、「真空ドライポンプ洗浄」、「中古半導体設備関連売買、移設、立上げ」などの業務を行っております。
お客様と共に改善しメンテナンスを継続実施させて頂いております。
半導体設備保守、保全
半導体設備ユニットO/H、改造改善
半導体製造設備の定期保守、保全(例1.3.6.12.24か月点検)や一部装置では修理等を行います。
また、付属部品の洗浄およびユニットメンテナンスも合わせて仕様すり合わせの後実施させて頂いております。(クリーン環境下でのメンテナンス)
また、メンテナンスの業務効率化や長寿命化などお客様のニーズに合った改善提案も行っております。


クリーンルーム内付帯工事
説備を守るため、耐震固定や安全に考慮した、避難経路の確保の為のパーテーション工事等(東日本大震災時にも効果有)も請け負っております。
(写真は、薬液が避難経路上で人が被災することを防止するパネルです。加速度500GAL想定製作)
真空ドライポンプ洗浄
社内に局所排気設備を導入し、一部ドライポンプの分解から組立、試験まで 一貫したサービスを提供しております。
お気軽にお問い合わせください。


中古半導体設備関連売買、移設、立上げ
中古設備の解体、搬出、立上げを請け負いながら装置の購入、販売も所轄警察署の許可を得て実施しております。 資産を廃棄処分する前に、一度お声がけくださればお客様によりよい提案もさせて頂くことも可能ですのでお問い合わせください。
メンテナンス対応機種
製造工程 | 対応機種 |
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IMPLA | SEN製GSDシリーズ |
VARIAN製中電流シリーズ | |
ECH | AMAT製Centuraシリーズ |
CVD | AMAT製P-5000、Centuraシリーズ |
METAL | AMAT製Enduraシリーズ |